Ìlànà, irú àti àwọn ohun èlò tí a lòìfọmọ́ lesaimọ-ẹrọ
Ìmọ̀ ẹ̀rọ ìwẹ̀nùmọ́ lésà jẹ́ àṣeyọrí nínú lílo ìmọ̀ ẹ̀rọ lésà ní ẹ̀ka ìmọ̀ ẹ̀rọ. Ìlànà rẹ̀ ni láti lo agbára gíga ti lésà láti bá àwọn ohun ìbàjẹ́ tí ó wà lára ohun èlò iṣẹ́ náà lò, èyí tí yóò mú kí wọ́n ya ara wọn sọ́tọ̀ kúrò nínú ohun èlò náà ní ìrísí ìfàsẹ́yìn ooru lẹ́sẹ̀kẹsẹ̀, yíyọ́, àti ìtújáde gaasi. Ìmọ̀ ẹ̀rọ ìwẹ̀nùmọ́ lésà jẹ́ àmì iṣẹ́ tó ga, ìbáramu àyíká, àti ìpamọ́ agbára. A ti lò ó dáadáa ní àwọn pápá bíi fífọ àwọn ohun èlò taya, yíyọ àwọn àwọ̀ ara ọkọ̀ òfúrufú, àti àtúnṣe àwọn ohun ìṣẹ̀dá àṣà.
Àwọn ìmọ̀ ìmọ́tótó ìbílẹ̀ pẹ̀lúmimọ ikọlu ẹrọ(ìfọmọ́ yíyọ́, ìfọmọ́ omi onípele gíga, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ), ìfọmọ́ ìbàjẹ́ kẹ́míkà, ìfọmọ́ ultrasonic, ìfọmọ́ yìnyín gbígbẹ, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ ìfọmọ́ wọ̀nyí ni a ti lò ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ ilé iṣẹ́. Fún àpẹẹrẹ, ìfọmọ́ yíyọ́ lè mú àwọn ibi ìparẹ́ irin kúrò, àwọn burrs ojú irin, àti varnish mẹ́ta-proof lórí àwọn pákó circuit nípa yíyan àwọn abrasives tí ó yàtọ̀ síra. Ìmọ̀ ẹ̀rọ ìfọmọ́ ìbàjẹ́ kẹ́míkà ni a lò ní gbígbọ́ àwọn àbàwọ́n epo lórí àwọn ojú ẹ̀rọ, ìwọ̀n nínú àwọn boilers, àti àwọn páìpù epo. Bó tilẹ̀ jẹ́ pé a ti ṣe àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ ìfọmọ́ wọ̀nyí dáadáa, wọ́n ṣì ní àwọn ìṣòro díẹ̀. Fún àpẹẹrẹ, ìfọmọ́ yíyọ́ lè fa ìbàjẹ́ sí ojú tí a tọ́jú ní irọ̀rùn, ìfọmọ́ ìbàjẹ́ kẹ́míkà sì lè fa ìbàjẹ́ àyíká àti ìbàjẹ́ ojú tí a wẹ̀ mọ́ tí a kò bá lò ó dáadáa. Ìfarahàn ìmọ̀ ẹ̀rọ ìfọmọ́ lesà dúró fún ìyípadà nínú ìmọ̀ ẹ̀rọ ìfọmọ́. Ó lo àǹfààní agbára gíga, ìpele gíga, àti ìgbéjáde agbára lesà tí ó munadoko, ó sì ní àwọn àǹfààní tí ó hàn gbangba ju àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ ìfọmọ́ àṣà ìbílẹ̀ lọ ní ti ṣíṣe iṣẹ́ ìfọmọ́, ìpele ìfọmọ́, àti ibi ìfọmọ́. Ó lè yẹra fún ìbàjẹ́ àyíká tí ìfọmọ́ ìbàjẹ́ kẹ́míkà àti àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ ìfọmọ́ mìíràn ń fà, kò sì ní fa ìbàjẹ́ sí orí ilẹ̀ náà.
Kí ni ìwẹ̀nùmọ́ lésà? Ìwẹ̀nùmọ́ lésà jẹ́ ìlànà kan níbi tí a ti ń lo ìtànṣán lésà láti yọ ohun èlò kúrò lórí ojú ohun líle kan (tàbí nígbà míìrán omi). Ní ìṣàn lésà kékeré, ohun èlò náà ni a máa ń gbóná nípasẹ̀ agbára lésà tí a fà mọ́ra, ó sì máa ń yọ́ tàbí kí ó yọ́. Ní ìṣàn lésà gíga, ohun èlò náà sábà máa ń yípadà sí plasma. Lọ́pọ̀ ìgbà, ìwẹ̀nùmọ́ lésà túmọ̀ sí yíyọ ohun èlò kúrò nípa lílo lésà tí a ti pulsed, ṣùgbọ́n tí agbára lésà bá ga tó, a lè lo ìtànṣán lésà ìgbì tí ń bá a lọ láti pa ohun èlò náà. Lésà excimer ti ìmọ́lẹ̀ jinlẹ ultraviolet ni a sábà máa ń lò fún ìṣàn lésà. Ìlà òòrùn lésà tí a lò fún ìṣàn lésà jẹ́ nǹkan bí 200nm. Jíjìn agbára lésà àti iye ohun èlò tí ìṣàn lésà kan ṣoṣo yọ kúrò sinmi lórí àwọn ohun ìní ìhùmọ̀ ti ohun èlò náà, àti ìwọ̀n òòrùn lésà àti gígùn òòrùn. Àpapọ̀ ìwọ̀n tí a yọ kúrò láti ibi-afẹ́de nípasẹ̀ ìṣàn lésà kọ̀ọ̀kan ni a sábà máa ń pè ní ìwọ̀n ìṣàn lésà. Ìyára ìwádìí ti ìtànṣán lésà àti ìbòrí ìlà ìṣàyẹ̀wò, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ, yóò ní ipa pàtàkì lórí ilana ìṣàn lésà.
Awọn oriṣi ti Imọ-ẹrọ mimọ lesa
1) Ìmọ́tótó gbígbẹ lésà: Ìmọ́tótó lésà gbígbẹ tọ́ka sí ìtànṣán taara ti iṣẹ́ ìmọ́tótó nípasẹ̀ lésà tí a pulsed, èyí tí ó ń fa kí ìpìlẹ̀ tàbí àwọn ohun tí ó ní ojú ilẹ̀ gba agbára kí ó sì pọ̀ sí i ní iwọ̀n otútù, èyí tí ó ń yọrí sí ìfẹ̀sí ooru tàbí ìgbóná ti ìpìlẹ̀ náà, nípa bẹ́ẹ̀ ó ya àwọn méjèèjì sọ́tọ̀. Ọ̀nà yìí lè pín sí ipò méjì: ọ̀kan ni pé àwọn ohun tí ó ní ojú ilẹ̀ gba agbára lésà kí ó sì fẹ̀ sí i; èkejì ni pé ìpìlẹ̀ gba agbára lésà kí ó sì ń mú ìgbóná gbóná jáde. Ní ọdún 1969, SM Bedair àti àwọn ẹlẹgbẹ́ rẹ̀ ṣàwárí pé onírúurú ọ̀nà ìtọ́jú ojú ilẹ̀ bíi ìtọ́jú ooru, ìbàjẹ́ kẹ́míkà, àti ìmọ́tótó yíyanrìn gbogbo wọn ní àwọn àléébù ọ̀tọ̀ọ̀tọ̀. Ní àkókò kan náà, agbára gíga lẹ́yìn ìfojúsùn lésà lè mú kí ìṣẹ̀lẹ̀ ìgbóná ojú ilẹ̀ ṣeé ṣe, èyí tí ó ń jẹ́ kí ó ṣeé ṣe láti fọ ojú ilẹ̀ tí kò ní parun. Nípasẹ̀ àwọn àyẹ̀wò, a rí i pé lílo lésà ruby Q-switched pẹ̀lú agbára ìwọ̀n 30 MW/cm2 lè ṣe àṣeyọrí ìmọ́tótó ojú ilẹ̀ ohun èlò sílíkọ́nì láì ba ìpìlẹ̀ jẹ́, àti fún ìgbà àkọ́kọ́, a ṣe àṣeyọrí ìmọ́tótó gbẹ lésà ti àwọn ohun tí ó ní ojú ilẹ̀ ohun èlò. A le ṣe afihan oṣuwọn gbogbogbo nipasẹ oṣuwọn pipin awọn ege fẹlẹfẹlẹ fiimu, bi atẹle:
Nínú àgbékalẹ̀ náà, ε dúró fún àtọ́ka agbára ìlù lésà, h dúró fún àtọ́ka sínípọn ti àtẹ́ka fíìmù ẹlẹ́gbin, àti E dúró fún àtọ́ka modulus elastic ti àtẹ́ka fíìmù náà.
2) Ìmọ́tótó Lésà: Kí iṣẹ́ tí a fẹ́ fọ̀ mọ́ tó bá fara hàn sí lésà tí a ti pulsed, a máa fi fíìmù omi tí a fi bo ojú ilẹ̀ tí a ti bò tẹ́lẹ̀ sí. Lábẹ́ iṣẹ́ lésà, ìwọ̀n otútù fíìmù omi náà yóò ga sókè kíákíá, yóò sì di afẹ́fẹ́. Ní àkókò tí a bá ti gbóná, a máa ń ṣẹ̀dá ìgbì ìkọlù, èyí tí yóò máa ṣiṣẹ́ lórí àwọn èròjà tí ń bàjẹ́, tí yóò sì mú kí wọ́n ya kúrò nínú ohun èlò náà. Ọ̀nà yìí nílò kí ohun èlò náà àti ohun èlò náà má ṣe bá ara wọn lò, èyí tí yóò dín ìwọ̀n àwọn ohun èlò tí ó yẹ kù. Ní ọdún 1991, K. Imen àti àwọn ẹlòmíràn yanjú ìṣòro àwọn èròjà tí ó wà nínú sub-micron tí ó kù lórí àwọn ohun èlò wafer semiconductor àti àwọn ohun èlò irin lẹ́yìn tí a ti lo àwọn ọ̀nà ìmọ́tótó ìbílẹ̀, wọ́n sì kẹ́kọ̀ọ́ nípa lílo fíìmù tí a fi bo ojú ohun èlò náà tí ó lè fa agbára lésà mọ́ra dáadáa. Lẹ́yìn náà, nípa lílo lésà CO2, fíìmù náà gba agbára lésà náà, ó sì yára pọ̀ sí i ní ìwọ̀n otútù, ó sì ń fa ìgbóná tí ó ń gbóná, èyí tí yóò mú àwọn èròjà náà kúrò lórí ohun èlò náà. Ọ̀nà ìmọ́tótó yìí ni a ń pè ní lésà rírọ.
3) Ìmọ́tótó Ìgbì Ìgbóná Plasma ti Laser: Àwọn ìgbì ìgbóná plasma ti laser máa ń wáyé nígbà tí laser bá tan ìmọ́lẹ̀ sí afẹ́fẹ́, tí ó sì máa ń fa kí ìgbì ìgbóná plasma tó fẹ̀ sí i. Ìgbì ìgbóná náà máa ń ṣiṣẹ́ lórí ojú iṣẹ́ náà, ó sì máa ń tú agbára jáde láti mú àwọn ohun tó ń bàjẹ́ kúrò. Lésà náà kò ṣiṣẹ́ lórí substrate náà, nítorí náà kò ní ba substrate náà jẹ́. Ìmọ̀ ẹ̀rọ ìmọ́tótó ìgbì ìgbóná plasma ti laser lè fọ àwọn pátákó tí ó ní ìwọ̀n ìlà tí ó tó mẹ́wàá nínú mẹ́wàá nanometers, kò sì sí àwọn ìdènà lórí ìgbì laser. A lè ṣàkópọ̀ ìlànà ti ara ìmọ́tótó plasma gẹ́gẹ́ bí èyí: a) Ìtànná laser tí laser náà ń tú jáde ni a fi ìpele ìbàjẹ́ lórí ojú tí a tọ́jú gbà. b) Ìwọ̀n ìfàmọ́ra tó pọ̀ ń ṣẹ̀dá plasma tó ń gbòòrò sí i kíákíá (gaasi tí ó dúró ṣinṣin gidigidi) ó sì ń mú ìgbì ìkọlù jáde. c) Ìgbì ìgbóná náà máa ń fa kí àwọn ohun tó ń bàjẹ́ náà fọ́ sí wẹ́wẹ́ kí a sì yọ wọ́n kúrò. d) Ìbú ìgbì ìmọ́lẹ̀ náà gbọ́dọ̀ kúrú tó láti yẹra fún ìkójọ ooru tí ó lè ba ojú tí a tọ́jú jẹ́. e) Àwọn àyẹ̀wò ti fihàn pé nígbà tí àwọn oxide bá wà lórí ojú irin, plasma ni a ń ṣẹ̀dá lórí ojú irin náà. A máa ń rí plasma nígbà tí agbára ìwúwo bá ju ààlà lọ, èyí tó sinmi lórí ìpele ìbàjẹ́ tàbí ìpele oxide tí a yọ kúrò. Ìpa ààlà yìí ṣe pàtàkì gan-an fún ìwẹ̀nùmọ́ tó múná dóko nígbàtí a bá ń rí i dájú pé ohun èlò ìpìlẹ̀ náà wà ní ààbò. Ìrísí plasma náà tún ní ààlà kejì. Tí agbára ìwúwo bá ju ààlà yìí lọ, ohun èlò ìpìlẹ̀ náà yóò bàjẹ́. Láti ṣe ìwẹ̀nùmọ́ tó múná dóko nígbàtí a bá ń rí i dájú pé ààbò ohun èlò ìpìlẹ̀ náà wà ní àárín ààlà méjèèjì. Ní ọdún 2001, JM Lee àti àwọn ẹlẹgbẹ́ rẹ̀ lo ànímọ́ tí àwọn lasers alágbára gíga ń ṣe àwọn ìgbì shock plasma nígbàtí a bá ń fojú sí wọn, wọ́n sì lo laser pulse pẹ̀lú agbára ìwúwo ti 2.0 J/cm2 (tí ó ga ju ààlà ìbàjẹ́ ti àwọn wafers silicon) láti tan ìmọ́lẹ̀ sí silicon wafer, tí ó sì ṣe àṣeyọrí nínú mímú àwọn patikulu tungsten 1 μm tí a fi sínú ojú wafer silicon wafer. Ọ̀nà ìwẹ̀nùmọ́ yìí ni a ń pè ní laser plasma shock wave cleaning, àti ní tààràtà, laser plasma shock wave cleaning jẹ́ irú ìwẹ̀nùmọ́ laser gbígbẹ. Ète àkọ́kọ́ tí a fi ṣe àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ ìwẹ̀nùmọ́ lésà mẹ́ta yìí ni láti nu àwọn èròjà kéékèèké tí ó wà lórí ojú àwọn wafers semiconductor. A lè sọ pé ìmọ̀ ẹ̀rọ ìwẹ̀nùmọ́ lésà jáde pẹ̀lú ìdàgbàsókè ìmọ̀ ẹ̀rọ semiconductor. Síbẹ̀síbẹ̀, a ti ń lo ìmọ̀ ẹ̀rọ ìwẹ̀nùmọ́ lésà sí àwọn pápá mìíràn nígbà gbogbo, bíi fífọ mọ́lẹ̀ táyà, yíyọ àwọ̀ ara ọkọ̀ òfurufú, àti àtúnṣe ojú ohun èlò. Nígbà tí ó bá wà lábẹ́ ìtànṣán lésà, a lè fẹ́ gáàsì aláìṣiṣẹ́ sí ojú ilẹ̀. Nígbà tí a bá bọ́ àwọn èròjà tí ó wà nínú ojú ilẹ̀ náà, gáàsì náà yóò fẹ́ wọn kúrò lójú ilẹ̀ náà lẹ́sẹ̀kẹsẹ̀ láti yẹra fún ìbàjẹ́ àti ìfọ́mọ́lẹ̀ ojú ilẹ̀ náà.
1) Nínú pápá semiconductor, ìwẹ̀nùmọ́ àwọn wafer semiconductor àti àwọn substrates optical ní í ṣe pẹ̀lú ìlànà kan náà, èyí tí í ṣe láti ṣe àgbékalẹ̀ àwọn ohun èlò aise sínú àwọn àwòrán tí a nílò nípasẹ̀ gígé, lílọ, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Nígbà ìlànà yìí, a máa ń gbé àwọn ohun ìbàjẹ́ pàtákì jáde, èyí tí ó ṣòro láti yọ kúrò tí ó sì máa ń fa ìṣòro ìbàjẹ́ líle koko. Àwọn ohun ìbàjẹ́ lórí ojú àwọn wafer semiconductor lè ní ipa lórí dídára ìtẹ̀wé circuit board, nípa bẹ́ẹ̀ ó ń dín àkókò ìgbésí ayé àwọn chips semiconductor kù. Àwọn ohun ìbàjẹ́ lórí ojú àwọn ohun ìbàjẹ́ pàtákì lè ní ipa lórí dídára àwọn ẹ̀rọ optical àti àwọn ìbòrí, ó sì lè fa ìpínkiri agbára tí kò dọ́gba, èyí tí ó ń dín àkókò ìgbésí ayé kù. Níwọ́n ìgbà tí ìwẹ̀nùmọ́ gbígbẹ laser lè fa ìbàjẹ́ sí ojú substrate, ọ̀nà ìwẹ̀nùmọ́ yìí kò fi bẹ́ẹ̀ lò ó nínú ìwẹ̀nùmọ́ àwọn wafer semiconductor àti àwọn substrates optical. Ìwẹ̀nùmọ́ rírọ̀ laser àti ìwẹ̀nùmọ́ ìgbì plasma laser ní àwọn ohun èlò tí ó yọrí sí rere jù nínú pápá yìí. Xu Chuanyi àti àwọn ẹlẹgbẹ́ rẹ̀ kẹ́kọ̀ọ́ nípa fífi àwọ̀ magnetic pàtàkì micro-scale sórí ojú àwọn substrates optical tí ó rọ̀ pẹ̀lẹ́pẹ̀lẹ́ gẹ́gẹ́ bí fíìmù dielectric, lẹ́yìn náà wọ́n lo laser tí a fi pulsed ṣe fún mímọ́. Ipa ìwẹ̀nùmọ́ náà dára, bó tilẹ̀ jẹ́ pé iye àwọn èròjà ìdọ̀tí fún agbègbè kọ̀ọ̀kan pọ̀ sí i, ìwọ̀n àti agbègbè ìbòjú àwọn èròjà ìdọ̀tí náà dínkù gidigidi. Ọ̀nà yìí lè fọ àwọn èròjà ìdọ̀tí kékeré lórí ojú àwọn èròjà ìpìlẹ̀ ojú tí ó rọrùn gan-an. Zhang Ping ṣe ìkẹ́kọ̀ọ́ nípa ipa tí ìjìnnà iṣẹ́ àti agbára lésà lórí ipa ìwẹ̀nùmọ́ ti àwọn èròjà ìdọ̀tí tó yàtọ̀ síra nínú ìmọ̀ ẹ̀rọ ìwẹ̀nùmọ́ lésà. Àwọn àbájáde ìwádìí fihàn pé fún àwọn èròjà polystyrene lórí àwọn èròjà ìṣàn gilasi, ìjìnnà iṣẹ́ tó dára jùlọ fún agbára 240 mJ jẹ́ 1.90 mm. Bí agbára lésà ṣe ń pọ̀ sí i, ipa ìwẹ̀nùmọ́ náà sunwọ̀n sí i gidigidi, àwọn èròjà ìdọ̀tí ńlá sì rọrùn láti fọ mọ́.
2) Nínú pápá ohun èlò irin, ìwẹ̀nùmọ́ àwọn ojú ohun èlò irin yàtọ̀ sí ìwẹ̀nùmọ́ àwọn wafer semiconductor àti àwọn substrates optical. Àwọn ohun ẹlẹ́gbin tí a gbọ́dọ̀ wẹ̀ jẹ́ ti ẹ̀ka macroscopic. Àwọn ohun ẹlẹ́gbin tí ó wà lórí ojú ohun èlò irin ní pàtàkì ní ìpele oxide (ìpele ipata), ìpele àwọ̀, ìbòrí, àti àwọn ohun èlò míràn, a sì lè pín wọn sí àwọn ohun ẹlẹ́gbin organic (bíi ìpele àwọ̀, ìbòrí) àti àwọn ohun ẹlẹ́gbin inorganic (bíi ìpele ipata). Ìwẹ̀nùmọ́ àwọn ohun ẹlẹ́gbin ojú ohun èlò irin jẹ́ láti bá àwọn ohun tí a nílò mu nígbà tí a bá ń ṣe é, bíi yíyọ nǹkan bí 10 μm ti ìpele oxide kúrò lórí ojú àwọn ẹ̀yà titanium alloy kí a tó fi hun aṣọ, yíyọ àwọ̀ àtilẹ̀wá kúrò lórí ojú awọ nígbà tí a bá ń ṣe àtúnṣe pàtàkì láti mú kí a tún fún sísun padà, àti mímú àwọn èròjà roba tí a so mọ́ rọ́bà mọ́ọ̀lù déédéé láti rí i dájú pé ojú náà mọ́ tónítóní àti dídára àti ìgbà ayé mọ́ọ̀lù náà. Ààlà ìbàjẹ́ àwọn ohun èlò irin ga ju ti ìpele ìwẹ̀nùmọ́ laser ti àwọn ohun ẹlẹ́gbin ojú wọn lọ. Nípa yíyan lésà agbára tí ó yẹ, a lè ṣe ipa ìwẹ̀nùmọ́ tí ó dára jù. A ti lo ìmọ̀-ẹ̀rọ yìí ní ìgbà tí ó tọ́ ní àwọn pápá kan. Wang Lihua et al. ṣe àyẹ̀wò lílo ìmọ̀ ẹ̀rọ ìwẹ̀nùmọ́ lésà nínú ìtọ́jú awọ oxide lórí àwọn ojú àwọ̀ aluminiomu àti àwọn irin titanium. Àwọn èsì ìwádìí náà fihàn pé lílo lésà pẹ̀lú agbára ìwọ̀n 5.1 J/cm2 lè nu ìpele oxide lórí ojú àwọ̀ aluminiomu A5083-111H nígbàtí ó ń pa dídára substrate náà mọ́, àti lílo lésà tí a fi agbára pulsed ṣe pẹ̀lú agbára àpapọ̀ 100 W ní ọ̀nà ìṣàyẹ̀wò lè nu ìpele oxide lórí ojú àwọ̀ titanium mọ́ dáadáa kí ó sì mú kí líle ojú àwọ̀ náà sunwọ̀n síi. Àwọn ilé iṣẹ́ abẹ́lé bíi Ruike Laser, Daqu Laser, àti Shenzhen Chuangxin ti ṣe àgbékalẹ̀ ohun èlò ìwẹ̀nùmọ́ lésà tí a ti lò fún fífọ àwọn rọ́bà bíi taya, àwọn ìpele irin, àti àwọn àbàwọ́n epo lórí ojú àwọ̀.
3) Nínú iṣẹ́ àwọn ohun ìṣẹ̀ǹbáyé àṣà, fífọ àwọn ohun ìṣẹ̀ǹbáyé irin àti òkúta àti ojú ìwé ṣe pàtàkì láti mú àwọn ohun ìbàjẹ́ bí ìdọ̀tí àti àbàwọ́n tààrà tí ó hàn lórí ojú wọn nítorí ìtàn wọn. Àwọn ohun ìbàjẹ́ wọ̀nyí nílò láti mú àwọn ohun ìṣẹ̀ǹbáyé padà láti mú àwọn ohun ìṣẹ̀ǹbáyé padà. Fún àwọn iṣẹ́ ìwé bíi kíkọ ìwé àti àwọn àwòrán, nígbà tí a bá tọ́jú wọn dáadáa, mọ́ọ̀lù máa ń dàgbàsókè lórí ojú wọn ó sì máa ń ṣe àwọn àbàwọ́n. Àwọn àbàwọ́n wọ̀nyí ní ipa lórí ìrísí àkọ́kọ́ ìwé náà, pàápàá jùlọ fún ìwé tí ó ní ìníyelórí àṣà tàbí ìtàn gíga, èyí tí yóò ní ipa lórí ìmoore àti ààbò rẹ̀. Zhao Ying àti àwọn ẹlòmíràn kẹ́kọ̀ọ́ nípa ṣíṣeéṣe lílo léésà ultraviolet láti nu àwọn àbàwọ́n tààrà lórí àwọn ìwé kíká. Àwọn àbájáde ìwádìí fihàn pé lílo léésà pẹ̀lú agbára ìwọ̀n 3.2 J/mm2 láti ṣe àyẹ̀wò lẹ́ẹ̀kan lè mú àwọn àbàwọ́n tààrà kúrò, àti wíwò lẹ́ẹ̀mejì lè mú àwọn àbàwọ́n tààrà kúrò pátápátá. Ṣùgbọ́n, tí agbára léésà tí a lò bá ga jù, yóò ba ìwé kíká náà jẹ́ nígbà tí ó bá ń yọ àwọn àbàwọ́n náà kúrò. Zhang Xiaotong àti àwọn ẹlòmíràn ṣe àṣeyọrí láti mú ohun ìṣẹ̀ǹbáyé idẹ oníwúrà kan padà nípa lílo ọ̀nà fíìmù omi ìtọ́sọ́nà léésà. Zhang Licheng àti àwọn ẹlòmíràn lo ìmọ̀ ẹ̀rọ ìfọ̀mọ́ léésà nínú àtúnṣe àwòrán amọ̀ obìnrin tí a ya ní Han Dynasty. Yuan Xiaodong àti àwọn ẹlẹgbẹ́ rẹ̀ kẹ́kọ̀ọ́ nípa ipa tí ìmọ̀ ẹ̀rọ ìwẹ̀nùmọ́ lésà ní nínú ìwẹ̀nùmọ́ àwọn ohun ìṣẹ̀ǹbáyé òkúta, wọ́n sì fi ìbàjẹ́ tí ó bá ara òkúta yanrìn wé ara rẹ̀ kí ó tó di mímọ́ àti lẹ́yìn ìwẹ̀nùmọ́, àti ipa ìwẹ̀nùmọ́ ti àwọn àbàwọ́n inki, ìbàjẹ́ èéfín, àti ìbàjẹ́ àwọ̀.
Ìparí: Ìmọ̀ ẹ̀rọ ìwẹ̀nùmọ́ lésà jẹ́ ọ̀nà ìtẹ̀síwájú díẹ̀, pẹ̀lú àwọn ìwádìí gbígbòòrò àti àwọn àǹfààní ìlò ní àwọn ẹ̀ka ìṣedéédé gíga bíi afẹ́fẹ́, ohun èlò ogun, àti ìmọ̀ ẹ̀rọ itanna àti iná mànàmáná. Lọ́wọ́lọ́wọ́, ìmọ̀ ẹ̀rọ ìwẹ̀nùmọ́ lésà ti lo ní àṣeyọrí ní àwọn agbègbè kan, nítorí iṣẹ́ ìwẹ̀nùmọ́ rẹ̀ tó gbéṣẹ́, tó bá àyíká mu, àti iṣẹ́ ìwẹ̀nùmọ́ tó dára. Àwọn agbègbè ìlò rẹ̀ ń gbòòrò síi díẹ̀díẹ̀. Ìdàgbàsókè ìmọ̀ ẹ̀rọ ìwẹ̀nùmọ́ lésà kìí ṣe pé a ti lò ó ní àwọn agbègbè bíi yíyọ àwọ̀ àti yíyọ ipata kúrò nìkan, ṣùgbọ́n àwọn ìròyìn ti wà nípa lílo lésà láti nu ìpele oxide lórí àwọn wáyà irin ní àwọn ọdún àìpẹ́ yìí. Ìfẹ̀sí àwọn pápá ìlò tí ó wà tẹ́lẹ̀ àti ìdàgbàsókè àwọn pápá tuntun ni ìpìlẹ̀ ìdàgbàsókè ìmọ̀ ẹ̀rọ ìwẹ̀nùmọ́ lésà. Ìwádìí àti ìdàgbàsókè àwọn ohun èlò ìwẹ̀nùmọ́ lésà tuntun àti ìdàgbàsókè àwọn ohun èlò ìwẹ̀nùmọ́ lésà tuntun yóò fi ìyàtọ̀ hàn, èyí tí yóò yọrí sí onírúurú iṣẹ́. Ní ọjọ́ iwájú, ṣíṣe ìwẹ̀nùmọ́ lésà aládàáṣe pátápátá nípasẹ̀ ìfọwọ́sowọ́pọ̀ pẹ̀lú àwọn robot ilé iṣẹ́ tún ṣeé ṣe. Ìdàgbàsókè ìmọ̀ ẹ̀rọ ìwẹ̀nùmọ́ lésà jẹ́ báyìí:
(1) Fífún ìwádìí lórí ìmọ̀ ìfọmọ́ lésà lágbára láti darí lílo ìmọ̀ ìfọmọ́ lésà. Lẹ́yìn àtúnyẹ̀wò ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìwé, a rí i pé kò sí ètò ìmọ̀ ìfọmọ́ lésà tó dàgbà tí ó ń ṣe àtìlẹ́yìn fún ìmọ̀ ìfọmọ́ lésà, àti pé ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìwádìí ni a gbé ka orí àwọn àyẹ̀wò. Fífi ètò ìmọ̀ ìfọmọ́ lésà múlẹ̀ ni ìpìlẹ̀ fún ìdàgbàsókè àti ìdàgbàsókè ìmọ̀ ìfọmọ́ lésà síwájú.
(2) Ìfẹ̀sí àwọn pápá ìlò tó wà tẹ́lẹ̀ àti àwọn pápá ìlò tuntun. A ti lo ìmọ̀ ẹ̀rọ ìwẹ̀nùmọ́ lésà ní àwọn agbègbè bíi yíyọ àwọ̀ kúrò àti yíyọ ipata kúrò, àwọn ìròyìn sì ti wà nípa lílo lésà láti nu ìpele oxide lórí àwọn wáyà irin ní àwọn ọdún àìpẹ́ yìí. Ìfẹ̀sí àwọn pápá ìlò tó wà tẹ́lẹ̀ àti ìdàgbàsókè àwọn pápá tuntun jẹ́ ilẹ̀ tó dára fún ìdàgbàsókè ìmọ̀ ẹ̀rọ ìwẹ̀nùmọ́ lésà.
(3) Ìwádìí àti ìdàgbàsókè àwọn ohun èlò ìfọmọ́ lésà tuntun. Ìdàgbàsókè àwọn ohun èlò ìfọmọ́ lésà tuntun yóò fi ìyàtọ̀ hàn. Irú kan ni àwọn ohun èlò tí ó ní gbogbogbòò kan tí ó bo ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn pápá ìlò, bíi ẹ̀rọ kan lè ṣe àṣeyọrí àwọn iṣẹ́ yíyọ àwọ̀ àti yíyọ ipata kúrò ní àkókò kan náà. Irú mìíràn ni àwọn ohun èlò pàtàkì fún àwọn àìní pàtó, bíi ṣíṣe àwòrán àwọn ohun èlò pàtó tàbí àwọn okùn opitika láti ṣe àṣeyọrí iṣẹ́ fún fífọ àwọn ohun ìdọ̀tí ní àwọn àyè kékeré. Nípasẹ̀ ìfọwọ́sowọ́pọ̀ pẹ̀lú àwọn robot ilé-iṣẹ́, fífọ lésà aládàáṣe pátápátá tún jẹ́ ìtọ́sọ́nà ìlò tí ó gbajúmọ̀.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Keje-17-2025
