Àkópọ̀ Àlàyé nípaÀwọn Orí Ìfọ́nrán Lésà
Ó bo àwọn orúkọ àwọn ẹ̀yà ara, àwọn ìtumọ̀, àwọn ìlànà, àwọn pàrámítà àpẹẹrẹ àti àwọn ìṣirò àgbékalẹ̀, ó sì wúlò fúnalurinmorin wíwo iyara giga(gẹ́gẹ́ bí àwọn ètò galvanometer) tàbí àwọn ohun èlò ìsopọ̀mọ́ra láti ọ̀nà jíjìn.
1. Àkójọpọ̀ àti Ìtumọ̀ Àwọn Orí Ìlànà Lésà Ìlànà Fífò
Alurinmorin fò (Scanning Laser Welding) ń ṣe àgbékalẹ̀ ìfojúsùn oníyípadà nípasẹ̀ galvanometer iyara gíga tí ó ń ṣe àfihàn àwọn ìtànṣán lésà, ó sì yẹ fún agbègbè ńlá àtialurinmorin iyara gigaÀwọn ẹ̀yà pàtàkì rẹ̀ ni wọ̀nyí:
1. Modulu Iṣọpọ Beam
Apọpọ
Iṣẹ́: Ṣe àyípadà ìṣẹ̀dá lésà oníyàtọ̀ (NA=0.1~0.22) nípasẹ̀ okùn optical sí ìtànṣán onípele kan.
Àwọn pàrámítà pàtàkì: Gígùn ìfojúsùn fcoll, Dcoll onígun mẹ́rin tí a ti lẹ̀ mọ́ ara wọn.
Fọ́múlá:
1.2 Ètò Àyẹ̀wò Galvanometer
Àwọn dígí Galvo X/Y-axis
Iṣẹ́: Yí ìtọ́sọ́nà ìmọ́lẹ̀ padà nípasẹ̀ àwọn dígí yíyípo oníyàrá gíga láti ṣe àyẹ̀wò ìpele onípele méjì.
Àwọn ìlànà pàtàkì: Iyára wíwo (nígbà gbogbo ≥10m/s), ìṣedéédé ipò tí a tún ṣe (<±5μrad), ìwọ̀n dígí (ó nílò láti bo ìwọ̀n ìlà fìtílà Dcoll).
Mótò Galvanometer: Mótò Servo tàbí mọ́tò galvanometer pẹ̀lú àkókò ìdáhùn <1ms.
1.3 Modulu Idojukọ Dynamic (Lẹnsi F-Theta tabi Galvanometer + Lẹnsi Alapin-Field)
Lẹ́ǹsì F-Theta
Iṣẹ́: Ṣe àyípadà igun ìyípadà ti galvanometer sí ìyípadà ìlà lórí òfúrufú láti mú kí ìdúróṣinṣin ìfojúsùn dúró.
Àwọn fọ́múlá pàtàkì:
2. Ìlànà Iṣẹ́
Ọ̀nà ìtànṣán: Lésà → Collimator → X galvanometer → Y galvanometer → F-Theta lẹnsi → ojú iṣẹ́.
Ìfojúsùn oníyípadà:
Nígbà tí igun ìyípadà galvanometer bá jẹ́ θ, a máa yí ipò ìfojúsùn (x, y) padà nípasẹ̀ lẹ́ńsì F-Theta gẹ́gẹ́ bí:
3. Àwọn Pílámítà Àwòrán Pàtàkì àti Àwọn Fọ́múlá
3.1 Ìṣirò Ìwọ̀n Àmì
Iwọn opin aaye ti a fojusi d (opin diffraction):
3.2 Ibiti Ayẹwo ati Igun Galvanometer
Iwọn iwoye to pọ julọ L:
3.3 Iyara ati Iyara Alurinmorin
Iyara onigun v
3.4 Ijinle Idojukọ (DOF)
3.5 Ìwọ̀n Agbára àti Ìfilọ́lẹ̀ Agbára
Agbara iwuwo I:
Agbara iwuwo E (alurinmorin pulse):
4. Àwọn ìyípadà àti Àwòrán Ṣíṣe Àtúnṣe
4.1 Àtúnṣe Ìyípadà Lẹ́ǹsì F-Theta
Ìyípadà: Ó nílò láti tẹ́ r∝θ lọ́rùn, ìyípadà tí kò ní ìlà gbọ́dọ̀ jẹ́ <0.1%.
Ìtẹ̀sí pápá: Ṣe àwòrán pápá títẹ́jú kan nípasẹ̀ àwọn ẹgbẹ́ oní-lẹ́ńsì púpọ̀.
4.2 Àṣìṣe Ìmúṣiṣẹ́pọ̀ Galvanometer
Ìdádúró X/Y galvanometer yẹ kí ó jẹ́ <1μs láti yẹra fún àwọn àpáta elliptical.
5. Àpẹẹrẹ ti Ilana Oniru
Àwọn ohun tí a nílò láti fi wọlé: Ìwọ̀n ìṣàyẹ̀wò L, ìwọ̀n àmì d, iyàrá ìsopọ̀ v. Yan lẹ́ńsì F-Theta: Pinnu fθ gẹ́gẹ́ bí L=2fθtan(θmax).
Ṣírò àwọn pàrámítà galvanometer: Angular value ω=v/fθ, kí o sì rí i dájú pé galvanometer náà ṣiṣẹ́ dáadáa.
Ṣe àyẹ̀wò dídára ààyè náà: Ṣe àtúnṣe àwọn àyípadà ẹgbẹ́ lẹ́ǹsì nípasẹ̀ Zemax/OpticStudio.
6. Àwọn ìṣọ́ra
Ìṣàkóso ooru: Àwọn Galvanometers àti lẹnsi nílò ìtútù omi lábẹ́ agbára gíga (bíi >1kW).
Ààbò ìdènà ìkọlù: Àwọn Galvanometers nílò ìdènà pajawiri láti yẹra fún ìkọlù ẹ̀rọ.
Ìṣàtúnṣe: Máa ṣe àtúnṣe déédéé ìṣọ̀kan ọ̀nà opitika (ìyàtọ̀ <0.05mm).
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹjọ-04-2025










